Биология - Растровый электронный микроскоп - Применение

09 февраля 2011


Оглавление:
1. Растровый электронный микроскоп
2. История
3. Принцип работы
4. Устройство
5. Режимы работы
6. Разрешение
7. Подготовка объектов
8. Применение
9. Основные мировые производители сканирующих электронных микроскопов



Растровые микроскопы применяются как исследовательский инструмент в физике, электронике, биологии и материаловедении. Их главная функция — получение изображения исследуемого образца, которое зависит от регистрируемого сигнала. Сопоставление изображений, полученных в разных сигналах, позволяют делать вывод о морфологии и составе поверхности. Растровый электронный микроскоп практически единственный прибор, который может дать изображение поверхности современной микросхемы или промежуточной стадии фотолитографического процесса.

Характеристики современного растрового микроскопа

Характеристики растрового электронного микроскопа JEOL серии JSM-6510
Разрешение в режиме высокого вакуума 3.0 нм, 8.0 нм, 15.0 нм
Разрешение в режиме низкого вакуума 4.0 нм
Увеличение От x8 до x300 000
От x5 до x300 000
Предустановленное увеличение Пятишаговое, настраиваемое
Набор управляющих меню пользователя Оптика, столик образца, режим изображения, давление LV, стандартный набор
Режим изображения Во вторичных электронах, «состав»*, «топография»*, темное поле*
Ускоряющее напряжение От 0.5кВ до 30кВ
Катод LaB6 юстированный в заводских условиях
Электронная пушка Автоматизированная, с ручной коррекцией
Конденсор Зум-конденсор
Объектив Сверхконический объектив
Апертура объектива 3-х стадийная, с тонкой настройкой по XY
Память стигматора Встроенная
Электрический сдвиг изображения ± 50 мкм,
Автоматические функции Фокус, яркость, контраст, стигматор
Столик для образцов Эвцентрический, наклон от −10o до +90
Привод столика Опционально
Навигация Два изображения
Замена образцов Выдвиганием сбоку
Максимальный размер образца 150 мм в диаметре
Компьютер IBM PC/AT совместимый
Операционная система MS Windows XP
Монитор Жидкокристаллический, 15", один или два**
Размер изображения 640 x 480, 1280 x 960, 2560 x 1920 пикселей
Вывод полноразмерного изображения Встроенный
Реперные изображения Два
Псевдоокрашивание Встроенное
Количество выводимых изображений Два изображения, четыре изображения
Цифровое увеличение Встроенное
Двойное увеличение Встроенное
Сетевой интерфейс Ethernet
Формат изображений BMP, TIFF, JPEG
Автоматическое архивирование Встроенное
Программа SMile View Встроенная **
Вакуум система Полностью автоматизированная
Переключение вакуум систем* Через функции меню, менее 1 минуты
LV давление От 1 до 270 Pa
JED-2300 EDS** Встроенный


Просмотров: 19602


<<< Просвечивающий электронный микроскоп
Рентгеновский микроскоп >>>